О приближении трехмерного решеточного газа для многослойной адсорбции

Проведено обоснование приближения трехмерного решеточного газа для многослойных адсорбатов на основе статистической теории, сформулированы задачи равновесной термодинамики и кинетики, выведен ряд приближений. Развита детальная кинетическая теория роста тонких пленок, дополняющая используемые в практике подходы, основанные на феноменологических моделях, термодинамике неравновесных процессов, моделях сплошной среды, решеточного газа.