Исследование функций распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) и электрических характеристик положительного столба тлеющего разряда в $\rm Ar$ и в смеси $\rm Ar + \rm Cl_2$

Приведены результаты экспериментального исследования радиаль­ного изменения электронной функции распределения и других электри­ческих параметров положительного столба тлеющего разряда в $\rm Ar$ при давлении $\sim 67$ Па, токе разряда $2$ мА и в смеси $\rm Ar + \rm Cl_2$ при суммарном давлении газа $\sim 67$ Па и токах разряда $2$, $30$ мА в зависимости от про­центного содержания $\rm Cl_2$ в разряде. Установлено, что в чистом аргоне по мере удаления от оси разряда в функции распределения существенно уменьшается доля высокоэнергетичных электронов. Экспериментальное распределение хорошо согласуется с расчетом по нелокальной теории положительного столба. В разряде в $\rm Ar + \rm Cl_2$ обеднение ФРЭЭ быстрыми электронами по радиусу разрядной трубки выражено значительно слабее, чем в $\rm Ar$. Показано, что изменение свойств плазмы с добавлением при­меси $\rm Cl_2$ связано с образованием в разряде отрицательных ионов.