Аннотация:
Измерена температура газа и температура электронов в аргоновой плазменной струе индукционного безэлектродного разряда при различных значениях подводимой мощности и расходах плазмообразующего газа. Показано, что газовая температура, измеренная энтальпийным датчиком, сильно зависит от изменения указанных параметров, в то время как температура электронов при этом почти не меняется. Определены условия возникновения и степень неравновесности высокочастотной индукционной плазмы по радиусу и длине разрядной камеры. Показано, что индукционная аргоновая плазма находится в состоянии локального термодинамического равновесия в ограниченном диапазоне режимов и пространственных зон. Приведено расчетное объяснение полученных результатов.