Генерация пористой металлической пленки на основании дугового разряда

Метод испарения медной проволоки используется для получения пористой медной пленки на поверхности кремния. Найдено распределение поверхностных кластеров по размерам и плотности. Средний размер полученных кластеров при оптимальных условиях (на расстоянии $2$ мм от разряда) – порядка $0.5$ мкм, плотность напыления – $3$–$5$ кластеров на кв. мкм.