Аннотация:
В работе представлен волноводно-коаксиальный СВЧ-модуль, позволяющий возбуждать на конце однопроводной линии Губо факельный СВЧ-разряд в воздухе. Описаны его свойства и возможные способы применения для нанесения на подложки мелкоструктурных пленок из тугоплавких материалов. Экспериментально подтвержден поверхностный характер распространения СВЧ-энергии вдоль однопроводной линии в форме плазмон-поляритонов.