Исследование неравновесной плазмы ВЧ-разряда в азоте методом широкополосной спектроскопии КАРС

Впервые методом широкополосной спектроскопии когерентного антистоксова рассеяния света (КАРС) исследуется низкотемпературная плазма высокочастотного (ВЧ) разряда индуктивно-емкостного типа в азоте при давлении 20 Тор и удельной мощности до $3$ Вт/см$^3$. Установлено нарушение термодинамического равновесия по внутренним степеням свободы азота в плазме газового разряда. Функция распределения молекул по колебательным уровням $\nu=0-4$ описывается распределением Тринора, а функция распределения молекул по вращательным уровням – распределением Больцмана. Для анализа спектров КАРС при нарушении термодинамического равновесия по внутренним степеням свободы молекул азота были развиты вычислительные коды.