Параметры плазмы и кинетика образования и гибели активных частиц при разряде в $\mathrm{HCl}$

Проведено исследование параметров плазмы и кинетики образования и гибели активных частиц в условиях тлеющего разряда постоянного тока в хлороводороде. Показано, что в исследованном диапазоне параметров разряда генерация атомов преимущественно обеспечивается диссоциацией исходных молекул при электронном ударе, однако в балансе нейтральных компонент заметная роль принадлежит объемным атомно-молекулярным реакциям. Предположение о первом кинетическом порядке гетерогенной гибели атомов обеспечивает удовлетворительное согласование экспериментальных и расчетных величин $E/N$ и плотности потока положительных ионов на поверхность разрядной трубки. Заселенность колебательных уровней $\mathrm{HCl}$ является низкой, реакции с участием колебательно-возбужденных молекул могут быть исключены из материального баланса нейтральных, но не заряженных частиц.