RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Теплофизика высоких температур // Архив

ТВТ, 2013, том 51, выпуск 5, страницы 787–790 (Mi tvt141)

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Краткие сообщения

Формирование тонкой пленки, содержащей $\alpha$-карбин, при магнетронном распылении графитовой мишени и воздействии внешнего источника фотоактивации

А. В. Костановскийa, А. А. Пронкинa, А. Н. Кириченкоb

a Объединенный институт высоких температур РАН, Москва
b Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, Троицк

Аннотация: Экспериментально показана возможность формирования тонкой пленки, содержащей $\alpha$-карбин, при магнетронном распылении графитовой мишени и воздействии внешнего источника фотоактивации со спектральной плотностью радиационного потока на длине волны $300\text{ нм} \sim5 \times 10^8\text{ Вт/м}^3$ и при температуре подложки $\sim660\text{ К}$.

УДК: 539.23:544.522.122

Поступила в редакцию: 19.11.2012

DOI: 10.7868/S0040364413050128


 Англоязычная версия: High Temperature, 2013, 51:5, 712–715

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024