О нагреве электронов в магнитных ловушках электрон-циклотрон-резонансных СВЧ-реакторов низкого давления

В работе анализируются методы поддержания плазмы в электрон-циклотрон-резонансных СВЧ- реакторах низкого давления, в которых источником ионизации являются быстрые электроны, запертые в ловушках, создаваемых постоянными магнитами. Рассматривается ключевая роль зон электрон-циклотронного нагрева электронов электрическим полем волны. На основе математического моделирования движения электронов в магнитных ловушках исследуется влияние размеров магнитных ловушек на эффективность нагрева и формулируются принципы конструирования электрон-циклотрон-резонансных плазменных СВЧ-реакторов.