Исследование пространственного распределения продуктов лазерной абляции и их осаждения на подложку в случае лазерного воздействия с острой фокусировкой

Приведены результаты численного моделирования воздействия лазерного излучения на длине волны $1.313$ мкм с острой фокусировкой на кремниевую мишень. Исследовалось поведение газодинамических параметров и специфика режимов плазмообразования при таком облучении. Установлен характер зависимости конфигурации и скорости движения границы облака от размеров пятна облучения, угла схождения падающего излучения и его интенсивности. Для температуры и плотности внутри плазменного облака получены зависимости от времени. Выполнена оценка возможности напыления продуктов лазерной абляции на подложку и рассчитаны конфигурации напыленной пленки для различных режимов облучения.