Электрические и оптические характеристики поперечного объемного разряда в хлоре

Приводятся результаты исследования электрических характеристик и излучения плазмы поперечного объемного разряда в хлоре при давлении $0.1$–$1.5$ кПа. Разряд зажигался в объеме $18 \times 2.2 \times (0.5$–$1.0)$ см$^3$ (межэлектродное расстояние равнялось $2.2$ см) при зарядном напряжении $5$–$10$ кВ. Излучение плазмы исследовалось в области $190$–$900$ нм. Получен устойчивый объемный разряд с длительностью импульса тока до $100$ нс, который может использоваться в ультрафиолетовой бактерицидной лампе $(200$–$257$ нм$)$ и в импульсном плазмохимическом реакторе сухого травления. Определены диагностические полосы молекулы $\text{Cl}_2$, спектральные линии атома $\text{Cl}$ и проведена оптимизация интенсивности их излучения в зависимости от давления в разрядной камере.