Аннотация:
Исходя из потребностей банка данных ЭПИДИФ по потенциалам взаимодействия и коэффициентам диффузии компонентов газофазной эпитаксии новых материалов, обоснован выбор набора интегралов столкновения, интервала приведенных температур, а также необходимой точности приближения к табличным данным. Для семейства трехпараметрических потенциалов Леннарда-Джонса $m$–$6$ выполнена аппроксимация основных интегралов столкновения в интервале приведенных температур $T^*=0.4$–$200$ и впервые практически во всей области определения показателя $m=8$–$\infty$ со среднеквадратической погрешностью $0.075$–$0.085\%$. Модели и их параметры введены в базу данных ЭПИДИФ и использованы для анализа поверхности коэффициента бинарной диффузии в переменных $T^*$ и $m$.