Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок

Проведен численный анализ закономерностей течения и массопереноса в химических реакторах, предназначенных для нанесения тонких пленок с помощью плазменных струй. Исследуется течение невязкого газа с диффузией малой примеси в реакторе с возвратными струями. Показано, что характер течения существенно зависит от геометрических размеров установки, в частности от соотношения ширины камеры и поперечного размера входной струи. Изучены особенности массопереноса в широких и узких струях, обусловленные диффузией и вихревым движением газа.