Синтез бинарных соединений на твердой поверхности путем фотоактивации адатомов компонентов на примере $\mathrm{AlN}$

На основе анализа процесса образования тонких пленок нитрида алюминия при реактивном испарении его конденсированной фазы в атмосфере азота рассмотрен и предложен механизм образования бинарных соединений на твердой поверхности. Показана роль фотоактивации адатомов компонентов (адатомов алюминия при синтезе пленок нитрида алюминия). Определены требования к энергетическим параметрам активирующего излучения для протекания реакции синтеза.