RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Теплофизика высоких температур // Архив

ТВТ, 1995, том 33, выпуск 1, страницы 163–166 (Mi tvt2896)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Краткие сообщения

Осаждение тонких пленок при вакуум-термическом испарении нитрида алюминия

А. В. Костановский, М. К. Гусев

Институт высоких температур РАН, г. Москва

УДК: 546.621.171.539.216

Поступила в редакцию: 04.03.1994


 Англоязычная версия: High Temperature, 1995, 33:1, 162–164

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024