Оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия

Представлены результаты измерений оптических констант (показателя преломления и коэффициента поглощения) тонких пленок нитрида алюминия (ТП $\mathrm{AlN}$), полученных методами термического азотирования чистого алюминия и реактивного испарения нитрида алюминия, в УФ-, видимой и ближней ИК-областях спектра. Отмечены высокая прозрачность в исследуемой области спектра, а также влияние структуры на оптические свойства ТП $\mathrm{AlN}$.