Экспериментальное исследование плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца

Представлены результаты экспериментального исследования неравновесного плазмохимического метода получения поликристаллического кремния из кварца. Показано, что с использованием созданной электродуговой установки может быть получен поликристаллический кремний с выходом до 60% в виде сфероподобных частиц со средним размером 100–200 мкм чистотой 99.8–99.9%.