RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Теплофизика высоких температур
// Архив
ТВТ,
1991
, том 29,
выпуск 1,
страницы
182–184
(Mi tvt4183)
Краткие сообщения
Измерение температуры монокристалла кремния в диапазоне
$300$
–
$700$
К по поглощению ИК-излучения
А. Н. Магунов
,
Е. В. Мудров
Институт микроэлектроники АН СССР, г. Ярославль
УДК:
535.341+536.55+621.315.592
Поступила в редакцию:
28.09.1989
Полный текст:
PDF файл (622 kB)
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2024