Исключение влияния ионного тока при измерении зондовым методом функции распределения электронов по энергиям в плазме

Предложена и реализована экспериментальная методика компенсации ионного тока и его производных при измерении функции распределения электронов по энергиям и их температуры зондовым методом. Методика основана на регистрации разностного сигнала с двух цилиндрических зондов разного диаметра в условиях, когда для описания дрейфа ионов на зонд справедливо гидродинамическое приближение. Выполненные эксперименты в плазме послесвечения подтвердили высокую эффективность данного способа. Показано, что теория ионного тока при повышенных давлениях удовлетворительно описывает не только саму зависимость тока от потенциала зонда, но и ее вторую производную.