Кинетика и концентрации активных частиц в неравновесной низкотемпературной плазме метана

Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы тлеющего разряда постоянного тока ($p = 40$–$200$ Па, $i = 30$–$70$ мА) в метане методами зондовой диагностики и математического моделирования. Получены данные по приведенной напряженности электрического поля, константам скоростей процессов при электронном ударе, стационарным концентрациям нейтральных и заряженных частиц.