Электрофизические свойства тонких пленок, полученных при реактивном испарении нитрида алюминия

Проведены исследования электрофизических свойств тонких пленок нитрида алюминия, полученных путем испарения его конденсированной фазы в атмосфере азота. Реализован низкотемпературный вариант метода, позволяющий осуществлять формирование сплошных тонких пленок нитрида алюминия с заданными электрофизическими свойствами.