Теплофизические свойства веществ в твердом, жидком и газообразном состоянии
Испаряемость материала полупроводника в газовой среде
В. С. Романычев
г. Москва
Аннотация:
Получены основные уравнения для расчета скорости испарения полупроводниковых материалов в среде различных газов, дана область применения полученных соотношений.
Показано большое влияние на скорость испарения: материала полупроводника, типа газа, давления газа, температуры и градиента температур.
Полный текст:
PDF файл (435 kB)