Эмиссионные характеристики и параметры плазмы короткого тлеющего разряда в смеси аргона с элегазом

Приводятся результаты исследования электрических и оптических характеристик плазмы короткого тлеющего разряда в системе электродов “сферический анод–плоский катод” при расстоянии между электродами $3$ см. Исследовались смеси $\mathrm{Ar}$–$\mathrm{SF}_6$ низкого давления ($p = 150$–$1500$ Па). Установлены оптимальные условия излучения разряда на полосе фторида аргона с максимумом при $193$ нм. Рассчитаны электронные кинетические коэффициенты для разряда на смесях $\mathrm{Ar}$–$\mathrm{SF}_6 = 92$–$8\%$ и $99$–$1\%$, которые используются в газоразрядных эксиплексных лампах.