Исследование высокочастотного газового разряда

На основании рассмотрения взаимодействия электромагнитного поля с плазмой разряда определена мощность, которая выделяется в разряде зависимости от различных параметров электромагнитного поля, природы газа и температуры разряда. Из рассмотрения энергетического баланса разряда определены результирующая температура и мощность разряда в зависимости от указанных выше параметров. Результаты расчетов показывают качественное согласие с экспериментальными значениями.