Зондовая диагностика пучково-плазменного разряда в электроотрицательных средах

Предлагается методика, согласно которой, используя вольт-амперные характеристики одиночного зонда Ленгмюра, можно получить основные характеристики плазмы тяжелых электроотрицательных газов: температуру электронов, концентрации электронов, положительных и отрицательных ионов. Приводятся результаты применения методики для определения пространственной структуры плазмы пучково-плазменного разряда в электроотрицательных газах $\mathrm{SF}_6$ и $\mathrm{CF}_4$.