3D–моделирование электродинамики электродного СВЧ–разряда пониженного давления

Исследована структура СВЧ-полей в разрядной камере, используемой для получения электродного СВЧ-разряда. Показано, что 3D-моделирование позволяет количественно определить детали конструкции разрядной камеры, оптимальные для генерации разряда. Приведены результаты самосогласованного моделирования разряда в азоте и водороде при давлении $1$ Тор, качественно согласующиеся с результатами экспериментов.