Одновременное определение вероятности рекомбинации атомов азота и кислорода на кварце

Рассмотрено состояние проблемы гетерогенной рекомбинации атомов азота и кислорода. Описана установка для измерения вероятности гетерогенной рекомбинации атомов с помощью резонансно-флуоресцентной спектроскопии. Главной особенностью используемой методики является возможность одновременной регистрации концентраций атомов $\mathrm{N}$ и $\mathrm{O}$ в воздушной смеси, причем в строго контролируемых условиях. Получены температурные зависимости вероятности рекомбинации атомов азота и кислорода в отдельности и при совместном процессе рекомбинации на поверхности кварца в диапазоне $300$–$600$ K. Предложенная методика позволила также начать изучение взаимного влияния процессов гетерогенной рекомбинации азота и кислорода и определить долю перекрестной рекомбинации.