Аннотация:
Рассматривается применение модуляции потенциала зонда для определения параметров плазмы высокого давления, в которой преобладает объемная рекомбинация. Вычисляется импеданс плоского зонда на ионной ветви характеристики для частот порядка обратного времени рекомбинации. Полученные выражения позволяют из амплитудной и фазовой частотных характеристик зондового тока определить концентрацию и температуру электронов, коэффициент рекомбинации и подвижность ионов.