Аннотация:
Экспериментально изучен тлеющий разряд в поперечном сверхзвуковом потоке газа при низких
давлениях в случае, когда поток занимает лишь часть пространства между электродами. Показано,
что область пространства со сверхзвуковым потоком газа обладает более высокой концентрацией
частиц газа и поэтому становится генератором заряженных частиц. Именно в этой области концентрируются приэлектродные зоны тлеющего разряда. Подобная организация тлеющего разряда найдет применение в процессах плазменного нанесения покрытий при сверхнизких давлениях.