Аннотация:
Для условий диэлектрического барьерного разряда атмосферного давления в кислороде на основе
измеренных волновых форм тока и напряжения путем совместного решения уравнения Больцмана
и уравнений химической кинетики проведен расчет состава активных частиц плазмы. Кинетические уравнения включали реакции с участием молекул $\mathrm{O}_2$ и $\mathrm{H}_2\mathrm{O}$ (основной плазмообразующий газ), продукты их диссоциации, а также возбужденные состояния молекул $\mathrm{O}_2$ и атомов $\mathrm{O}$. Показано, что основными нейтральными компонентами такой плазмы являются молекулы $\mathrm{O}_3$, $\mathrm{O}_2(a^1\Delta_g)$, $\mathrm{H}_2\mathrm{O}_2$ и $\mathrm{OH}$. Проанализированы механизмы образования и гибели указанных компонентов.