Экспериментальное исследование параметров плазмы тлеющего разряда в тетрафторметане

На основе спектроскопических измерений определены относительные изменения концентрации быстрых электронов ($E_e\ge14{,}74$ эВ) и полной концентрации электронов в зависимости от параметров плазмы тлеющего разряда постоянного и ВЧ-тока в тетрафторметане.