Механизм нагрева азотной плазмы безэлектродного ВЧ-емкостного разряда при средних давлениях

Рассмотрен возможный вклад в экспериментально определяемый нагрев азотной плазмы безэлектродного ВЧ-емкостного разряда при давлениях $p=2{,}7-67$ кПа процессов: электронно-вращательного, колебательно-поступательного $(V-T)$, нерезонансного колебательно-колебательного $(V-V)$ обмена энергий, а также влияние технических примесей $\mathrm{O}_2$, $\mathrm{H}_2\mathrm{O}$, $\mathrm{NO}$. Показано, что с понижением давления механизм нагрева переходит от квазиравновесного к неравновесному $V-T$-нагреву, обусловленному перезаселением высоких колебательных уровней в основном состоянии молекулы азота.