Исследования по нанесению ниобиевого покрытия на графит из парогазовой фазы

Определена теоретическая степень полноты реакции восстановления ниобия из пентахлорида ниобия и приводятся оптимальные условия процесса. Предлагается схема механизма осаждения ниобия на графит из парогазовой фазы, исходя из теоретических представлений о гетерогенности процесса. Устанавливаются закономерности, определяющие неравномерность толщины покрытия по длине образца, и приводится формула оценки степени неравномерности толщины покрытия.