Определение профиля выходного отверстия плазменного источника ионов

При решении задачи оптимизации профиля выходного отверстия для увеличения газовой экономичности источника необходимо учитывать возможность многократного отражения нейтральных частиц от стенок отверстия. Решение задачи может быть получено методами многопараметрической оптимизации, причем непрерывный профиль стенки отверстия заменяется кусочно-линейным, а координаты узловых точек рассматриваются как совокупность независимых параметров. Для определения оптимальной совокупности координат рекомендуется использование случайного поиска с самообучением. В качестве примера приложения разработанной методики приводятся результаты расчетов для щелевого отверстия плазменного источника ионов, работающего на ртути. Показано, что при использовании оптимального профиля удается в полтора-два раза снизить потери нейтральных атомов рабочего тела.