Образование и гибель атомов в периодическом низкочастотном тлеющем разряде в смеси хлора с водородом

Изучены механизмы образования и гибели атомов в плазме смеси хлора с водородом при импульсном низкочастотном питании. Подробно проанализированы вклады процессов с участием всех частиц плазмы, формирующие состав плазменного промежутка. Показано, что атомы в разряде гибнут на стенке реактора по первому кинетическому порядку. С использованием релаксационной импульсной методики получены абсолютные значения констант скорости и вероятностей рекомбинации атомов хлора (водорода) в плазме Cl$_2$/H$_2$ переменного состава.