Гетерогенная рекомбинация атомов кислорода на поверхности алюминиевой фольги в условиях низкотемпературной плазмы

В условиях положительного столба тлеющего разряда пониженного давления на основании прямых кинетических измерений определены вероятности рекомбинации атомов кислорода $(\gamma)$ на поверхности алюминиевой фольги и рассчитаны эффективные энергии активации процесса рекомбинации. Наблюдается зависимость величины $\gamma$ от давления газа в системе при токе разряда выше $30$ мА. Рассчитаны потоки основных активных компонентов плазмы кислорода на поверхность, ограничивающую плазму. Показано, что рост вероятности гетерогенной рекомбинации обусловлен увеличением потока метастабильных молекул кислорода $\mathrm O_2(b^1\Sigma_g^+)$ на поверхность.