Расчет характеристик емкостных высокочастотных разрядов

Получены уравнения, определяющие связь максимальной температуры плазмы с током для случая емкостного разряда. С использованием этих уравнений проведен расчет параметров плазмы разрядов в аргоне, воздухе, водороде и гелии. Проведено сопоставление расчетных и экспериментальных результатов.