Применение термоанемометрических зондов для измерения коэффициентов аккомодации энергии ионов потока разреженной плазмы

Предложена методика определения коэффициентов аккомодации энергии ионов потока разреженной плазмы с применением термоанемо-метрического зонда. Приведены результаты измерения коэффициентов аккомодации ионов $\mathrm{N}_2^+$ и $\mathrm{Ar}^+$ на $12$ материалах металлических мишеней. Результаты измерений свидетельствуют об изменении коэффициентов аккомодации в зависимости от энергии ионов потока и атомного веса материала мишени.