Использование безэлектродного емкостного ВЧ-плазмотрона для нанесения тугоплавких диэлектрических покрытий

Исследуется возможность использования высокочастотного плазмотрона с емкостным разрядом для нанесения тугоплавких диэлектрических покрытий на металлические и неметаллические поверхности, разработана конструкция разрядной камеры для эффективного использования шнурообразной конфигурации емкостного разряда, проведен качественный анализ покрытий из технического глинозема, нанесенных на металлические подложки.