RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Успехи физических наук // Архив
УФН, 1973, том 111, номер 1, страницы 150–157 (Mi ufn10452)
ФИЗИКА НАШИХ ДНЕЙ

Химические способы получения высокого вакуума

Т. Том

"Vceco Instruments Inc." в Саннивейл, Калифорния, США

Аннотация: Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10–11 тор.

DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150


 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 1972, 25:8, 32–39

© МИАН, 2024