Я. С. Гринберг, Ю. А. Пашкин, Е. В. Ильичёв, “Наномеханические резонаторы”, УФН, 2012, том 182, номер 4,страницы 407

Эта публикация цитируется в 54 статьях

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Наномеханические резонаторы

Я. С. Гринберг^a, Ю. А. Пашкин^bcd, Е. В. Ильичёв^e

^a Новосибирский государственный технический университет
^b NEC Green Innovation Research Laboratories and RIKEN Advanced Science Institute, Tsukuba, Japan
^c Department of Physics, Lancaster University, Lancaster, UK
^d Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН
^e Institute of Photonic Technology, Jena, Germany

Аннотация: Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и применения наномеханических резонаторов в составе наноэлектромеханических и оптомеханических систем для высокочувствительного детектирования и визуализации структуры материалов. Описаны методы изготовления и измерения параметров резонаторов нанометровых размеров и их характеристики. Обсуждаются квантовые свойства наномеханических резонаторов. Описаны схемы динамического охлаждения оптомеханических и наноэлектромеханических систем, направленные на снижение флуктуаций с целью повышения пороговой чувствительности этих устройств.

PACS: 61.46.-w; 62.25.-g; 81.07.-b; 81.07.Oj

Поступила: 21 мая 2011 г.
Доработана: 4 ноября 2011 г.
Одобрена в печать: 16 ноября 2011 г.

DOI: 10.3367/UFNr.0182.201204c.0407