Эта публикация цитируется в 27 статьях

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии

К. Н. Кошелев^a, В. Е. Банин^b, Н. Н. Салащенко<sup>c

a</sup> Институт спектроскопии РАН
^b ASML, Veldhoven, Нидерланды
^c Институт физики микроструктур РАН

PACS: 42.72.-g, 42.82.Cr

DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707h.0777

 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 2007, 50:7, 741–744

Реферативные базы данных:

• 
•