Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур

Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.