Аннотация:
Обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твёрдостью в диапазоне от $\le 30$ до 100–120 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твёрдости в тонких ($\le 10$ мкм) покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Даётся классификация твёрдых и сверхтвёрдых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развития этого направления.
PACS:61.46.-w, 62.20.Qp, 62.25.-g
Поступила:14 февраля 2008 г. Доработана: 3 июля 2008 г.