Б. А. Гурович, К. Е. Приходько, “Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов”, УФН, 2009, том 179, номер 2,страницы 179

Эта публикация цитируется в 23 статьях

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

Б. А. Гурович, К. Е. Приходько

Российский научный центр "Курчатовский институт"

Аннотация: Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУ А для создания наноразмерных функциональных элементов.

PACS: 79.20.Rf, 81.07.-b, 81.16.-c

Поступила: 16 июля 2008 г.
Доработана: 7 октября 2008 г.

DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179