Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.