Эта публикация цитируется в 3 статьях

БИБЛИОГРАФИЯ

Технология СБИС: основы и применения

Ю. В. Гуляев, Ю. Л. Копылов


УДК: 621.3.049.77.14(049.3)

PACS: 85.40.Hp, 01.30.Vv, 85.40.Bh, 85.40.Qx

DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811i.0552

 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 1988, 31:11, 1040–1041