Аннотация:
В настоящем обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении границ раздела кремний/диэлектрик (Si/SiO$_2$, Si/SiO$_x$N$_y$) и диэлектрик/диэлектрик (Si$_3$N$_4$/SiO$_2$) в структурах, которые являются основой кремниевых приборов.
PACS:61.43.-j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv
Поступила:21 октября 2008 г. Доработана: 17 апреля 2009 г.
Полный текст:
PDF файл (1596 kB)
