В. С. Вавилов, “Ионная имплантация: оборудование и методика”, УФН, 1984, том 143, номер 2,страницы 336

ЖУРНАЛЫ // Успехи физических наук // Архив

УФН, 1984, том 143, номер 2, страницы 336–337 (Mi ufn8502)

БИБЛИОГРАФИЯ

Ионная имплантация: оборудование и методика

В. С. Вавилов

УДК: 537.311.33(049.3)

DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336