Ю. В. Гуляев, В. Б. Сандомирский, А. А. Суханов, Ю. Я. Ткач, “Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники”, УФН, 1984, том 144, номер 3,страницы 475

Эта публикация цитируется в 10 статьях

ФИЗИКА НАШИХ ДНЕЙ

Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

Ю. В. Гуляев, В. Б. Сандомирский, А. А. Суханов, Ю. Я. Ткач

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Аннотация: Микроэлектроника – область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

УДК: 621.396.6

PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv

DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475